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氢氟酸在铜钝化液中的应用

时间:2019-02-18浏览数:48
(1)在金属钝化中的应用氢氟酸和硝酸配合用于铸铜的浸蚀,特别是含硅较高的铜,如果不添加一定量的氢氟酸,这些铜材经化学处理后表面的黑灰很难去除,但氢氟酸用量不易过高,否则会使一些高硅铜的表层结构疏松而影响下一步的处理。氢氟酸和硝酸配合也用于铸造铜的钝化。氢氟酸也用于配难溶金属的清洗。
(2)在化学蚀刻中的应用氢氟酸是硅及铜的唯一可采用的蚀刻剂,对硅的蚀刻主要用于各种集成电路及各种半导体芯片的制作。在化学蚀刻过程中,一般都不会单独采用氢氟酸进行,都会根据需要添加一些旨在改善其蚀刻性能和蚀刻质量的第二或第三物质。
氢氟酸对金属的腐蚀性极强,通常表现为严重的均匀腐蚀,生成可溶性的氟化物,只有少数金属在室温下能生成较难溶的氟化物。
氢氟酸主要用来对铜及合金及难溶高合金钢的化学腐蚀,是铜及半导体加工中硅晶片的唯一腐蚀剂。但如单独用氢氟酸对铜合金进行腐蚀加工,会使铜合金吸收大量的氢而产生不可逆转的氢脆,所以在实际应用中,都是和硝酸、CrO3等氧化性酸配合使用。
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